Ystod Teithio
20mm
Datrysiad
0.125μm
Ailadroddadwyedd
＜1μm
Syth
＜2μm
Parallelism
＜5μm
Pitsio
10″（50μrad）
Iaing
Cyflymder Uchaf
5mm/eiliad
Cynhwysedd Llwyth
10kg
Pwysau
1.5kg
