Ystod Teithio
20mm
Datrysiad
0.125μm
Ailadroddadwyedd
<1μm
Syth
<2μm
Parallelism
<5μm
Pitsio
10″(50μrad)
Iaing
Cyflymder Uchaf
5mm/eiliad
Cynhwysedd Llwyth
10kg
Pwysau
1.5kg